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J-GLOBAL ID：200903096939096925

露光装置

Inventor： 植原 幸大 ,  森 誠樹 ,  森 英治
Applicant, Patent owner： 東レエンジニアリング株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000284931
Publication number (International publication number)：2002091012
Application date： Sep. 20, 2000
Publication date： Mar. 27, 2002
Summary：

【要約】【課題】 感光材が塗布された基板上に認識コードを露光する装置において、露光すべき認識コードが増えても一定の時間内に処理を終えることが出来ると共に、光源を増やす必要がないため、ランプ交換作業などの調整作業が簡単にできる露光装置を提供する。【解決手段】感光材が塗布された基板上に識別コードを露光するための複数の露光ユニットを夫々移動可能に配設せしめると共に、前記露光ユニットの光源を共有できる構成にせしめたことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

感光材が塗布された基板上に識別コードを露光するための複数の露光ユニットを夫々移動可能に配設せしめると共に、前記露光ユニットの光源を共有できる構成にせしめたことを特徴とする露光装置。

IPC (2)：

G03F 7/20 501 ,  H01L 21/027

FI (3)：

G03F 7/20 501 ,  H01L 21/30 502 G ,  H01L 21/30 577

F-Term (15)：

2H097AA08 ,  2H097AA13 ,  2H097CA03 ,  2H097CA07 ,  2H097LA12 ,  5F046AA16 ,  5F046CA06 ,  5F046CB05 ,  5F046CB06 ,  5F046CB17 ,  5F046CB25 ,  5F046CC03 ,  5F046CC08 ,  5F046CC15 ,  5F046CC17