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J-GLOBAL ID：200903096947484098

移動計測装置

Inventor： 藤崎 久雄 ,  山本 琢磨
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 古谷 史旺 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996181838
Publication number (International publication number)：1998026512
Application date： Jul. 11, 1996
Publication date： Jan. 27, 1998
Summary：

【要約】【課題】 本発明は、物体の微小な変位および位置を計測する移動計測装置に関し、安価にかつ確実に計測精度を高めることを目的とする。【解決手段】 二次元平面を移動する物体に形成された平面の像を予め定められた頻度でとらえる撮像手段と、その頻度の最小値の逆数に等しい時間と物体の最大の速度との積の2倍を超える間隔で平面に配された複数のマークからなる標識と、3つ以上のマークとこれらの内の2つ以上が速度で時間内に移動する範囲とを拡大投影する光学系と、像が示すマークの重心を求める重心算出手段と、時系列順の2つの像について、相対距離が積と光学系の拡大率との積以下である重心の組を2つ検索する検索手段と、一方の重心の組の相対距離を拡大率で除して物体の変位を得る変位算出手段と、2つの像が含む2つの重心の一方に対する他方の方位角間の差をとり物体の旋回角を得る角度算出手段とを備えて構成される。

Claim (excerpt)：

二次元平面を移動する物体あるいはその物体に取り付けられた部材の外側にその二次元平面に平行に形成された平面に対向して撮像面が形成され、その平面の像を予め定められた頻度でとらえる撮像手段11と、前記物体が移動する最大の速度と前記頻度の最小値の逆数に等しい時間との積の2倍を超える間隔で前記平面に配置された複数のマークからなる標識12と、前記平面の内、前記複数のマークの何れか3つ以上と、これら3つ以上の内の何れか2つ以上が個々に前記速度で前記時間内に移動し得る範囲とが定常的に含まれる領域を前記撮像面に光学的に拡大して投影する光学系13と、前記撮像手段11によってとらえられた像が示すマークの前記撮像面における重心を個別に求める重心算出手段14と、前記撮像手段11によって時系列の順にとらえられた2つの像の組み合わせについて、前記重心算出手段14によって個別に求められた重心の内、相対距離が前記積と前記光学系13の拡大率との積以下である重心の組み合わせを何れか2つ検索する検索手段15と、前記検索手段15によって検索された2つの重心の組み合わせの何れか一方について、前記相対距離を前記拡大率で除して前記二次元平面における前記物体の変位を得る変位算出手段16と、前記2つの像の組み合わせについて、含まれる2つの重心の一方に対する他方の方位角を個別に求め、これらの方位角の差分をとって前記物体が前記二次元平面において旋回した角度を得る角度算出手段17とを備えたことを特徴とする移動計測装置。

IPC (4)：

G01B 11/00 ,  G01B 11/26 ,  G05D 3/12 ,  G06T 7/60

FI (5)：

G01B 11/00 F ,  G01B 11/00 D ,  G01B 11/26 H ,  G05D 3/12 K ,  G06F 15/70 350 H