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J-GLOBAL ID：200903096959597157

半導体基板およびその作製方法および半導体発光素子

Inventor： 岩田 浩和
Applicant, Patent owner： 株式会社リコー
Agent (1)： 植本 雅治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999172495
Publication number (International publication number)：2001007394
Application date： Jun. 18, 1999
Publication date： Jan. 12, 2001
Summary：

【要約】【課題】 工業的に実用化できる大面積,高品質のGaN系の半導体基板およびその作製方法および半導体発光素子を提供する。【解決手段】 第1の基板50にInrAlsGa(1-r-s)N(0≦r≦1,0≦s≦1,r+s≦1)単結晶薄膜52を形成し、InrAlsGa(1-r-s)N単結晶薄膜52をInxAlyGa(1-x-y)N(0≦x≦1,0≦y≦1,x+y≦1)単結晶と熱膨張係数がほぼ同等である第2の基板53に貼り付け、第1の基板50からInrAlsGa(1-r-s)N単結晶薄膜52を分離し、第2の基板53に貼り付けられたInrAlsGa(1-r-s)N単結晶薄膜52上に、InxAlyGa(1-x-y)N(0≦x≦1,0≦y≦1,x+y≦1)単結晶54をエピタキシャル成長し、第2の基板53からInxAlyGa(1-x-y)N単結晶54を分離する。

Claim (excerpt)：

第1の基板にInrAlsGa(1-r-s)N(0≦r≦1,0≦s≦1,r+s≦1)単結晶薄膜を形成する工程と、InrAlsGa(1-r-s)N(0≦r≦1,0≦s≦1,r+s≦1)単結晶薄膜をInxAlyGa(1-x-y)N(0≦x≦1,0≦y≦1,x+y≦1)単結晶と熱膨張係数がほぼ同等である第2の基板に貼り付ける工程と、第1の基板からInrAlsGa(1-r-s)N(0≦r≦1,0≦s≦1,r+s≦1)単結晶薄膜を分離する工程と、第2の基板に貼り付けられたInrAlsGa(1-r-s)N(0≦r≦1,0≦s≦1,r+s≦1)単結晶薄膜上に、InxAlyGa(1-x-y)N(0≦x≦1,0≦y≦1,x+y≦1)単結晶をエピタキシャル成長する工程と、第2の基板からInxAlyGa(1-x-y)N(0≦x≦1,0≦y≦1,x+y≦1)単結晶を分離する工程とにより、InxAlyGa(1-x-y)N(0≦x≦1,0≦y≦1,x+y≦1)単結晶を半導体基板として作製することを特徴とする半導体基板の作製方法。

IPC (6)：

H01L 33/00 ,  C30B 29/38 ,  C30B 33/00 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/205 ,  H01S 5/343

FI (6)：

H01L 33/00 C ,  C30B 29/38 D ,  C30B 33/00 ,  H01L 21/203 M ,  H01L 21/205 ,  H01S 5/343

F-Term (90)：

4G077AA03 ,  4G077BE11 ,  4G077BE15 ,  4G077DB08 ,  4G077ED06 ,  4G077FJ03 ,  4G077FJ06 ,  4G077HA02 ,  4G077HA12 ,  4G077TA04 ,  5F041AA40 ,  5F041CA02 ,  5F041CA03 ,  5F041CA04 ,  5F041CA05 ,  5F041CA14 ,  5F041CA23 ,  5F041CA34 ,  5F041CA40 ,  5F041CA65 ,  5F041CA74 ,  5F041CA82 ,  5F041CA92 ,  5F041FF16 ,  5F045AA02 ,  5F045AA04 ,  5F045AB09 ,  5F045AB14 ,  5F045AB17 ,  5F045AB31 ,  5F045AB32 ,  5F045AC07 ,  5F045AC12 ,  5F045AC15 ,  5F045AC19 ,  5F045AD14 ,  5F045AE29 ,  5F045AF01 ,  5F045AF04 ,  5F045AF07 ,  5F045AF09 ,  5F045CA09 ,  5F045CA10 ,  5F045CA11 ,  5F045CA12 ,  5F045CB01 ,  5F045CB02 ,  5F045DA51 ,  5F045DA52 ,  5F045DA53 ,  5F045DA54 ,  5F045DA55 ,  5F045DA57 ,  5F045DA62 ,  5F045DA63 ,  5F045DA64 ,  5F045DB01 ,  5F045GH08 ,  5F045GH09 ,  5F045HA11 ,  5F045HA12 ,  5F045HA14 ,  5F045HA16 ,  5F073AA13 ,  5F073AA74 ,  5F073CA07 ,  5F073CB02 ,  5F073CB04 ,  5F073CB05 ,  5F073CB07 ,  5F073DA05 ,  5F073EA29 ,  5F103AA04 ,  5F103DD01 ,  5F103GG01 ,  5F103HH03 ,  5F103HH04 ,  5F103JJ01 ,  5F103JJ03 ,  5F103KK01 ,  5F103LL01 ,  5F103LL02 ,  5F103LL03 ,  5F103LL16 ,  5F103LL17 ,  5F103LL18 ,  5F103PP03 ,  5F103PP07 ,  5F103RR08 ,  5F103RR10