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J-GLOBAL ID：200903096972859233

カンチレバー

Inventor： 松山 克宏 ,  戸田 明敏 ,  籾山 奈津江 ,  ▲ひじ▼野 雅道
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996233074
Publication number (International publication number)：1998078438
Application date： Sep. 03, 1996
Publication date： Mar. 24, 1998
Summary：

【要約】【課題】少なくとも探針表面に成膜する金属薄膜の耐磨耗性及び密着性を向上させたカンチレバーを提供する。【解決手段】パイレックスガラス製の支持部2と、この支持部から延出した窒化シリコン製のレバー部4と、このレバー部の自由端に形成された窒化シリコン製の探針部6とから成るカンチレバー元部材18′を備えており、このカンチレバー元部材の両面に導電性の金属薄膜8a,8bを形成した後、探針部側からイオン注入処理を施すことによって、少なくとも探針部の表面に形成された金属薄膜8aの物性を変化させている。

Claim (excerpt)：

支持部と、この支持部から延出したレバー部と、このレバー部の自由端に形成された探針部とを備えており、少なくとも前記探針部側の面には、所定のイオンを注入することによって所定の物性を有する表面層が形成されていることを特徴とするカンチレバー。

IPC (2)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30

FI (3)：

G01N 37/00 C ,  G01N 37/00 G ,  G01B 21/30 Z