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J-GLOBAL ID：200903097001996966

扁平な基板を把持しかつ保持するための装置

Inventor： ヤロスラフ ツァイダ ,  シュテファン ケムプフ
Applicant, Patent owner： バルツァース ウント ライボルト ドイチュラント ホールディング アクチエンゲゼルシャフト
Agent (1)： 矢野 敏雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996208466
Publication number (International publication number)：1997104979
Application date： Aug. 07, 1996
Publication date： Apr. 22, 1997
Summary：

【要約】【課題】 基板を真空室の内部及び外部で、特に迅速かつ確実に把持しかつ保持することができ、しかも特に低コストで製造可能であるような装置を提供する。【解決手段】 グリッパ12,13,14が、ケーシング4の頭部5に設けられた開口部又は貫通孔17,18,19で保持されて案内されており、前記グリッパの旋回運動が、ケーシング4,5の長手方向軸線Lに対して横方向の軸線を中心に行われるようになっており、全てのグリッパの旋回軸線a,b,cが1つの平面eに延びていて、これらの旋回軸線が一緒になって、前記長手方向軸線を取り囲む等辺多角形を形成しており、前記グリッパの、ピストン7に面した端部が、弾性的な材料から成るリング又はガータスプリング15によって一緒に取り囲まれており、前記ガータスプリングにより、前記グリッパが、旋回運動を制限するストッパ面4bに引き付けられている。

Claim (excerpt)：

コンパクトディスクのような扁平な、中央開口部(26)を備えた円環ディスク状の基板(3)を把持しかつ保持するための装置であって、ケーシング(4,5)内に旋回可能に支承されたフィンガ状の複数のグリッパ(12,13,14)と、ケーシング(4)内に移動可能に支承されたプランジャ又はピストン(7)とから成っており、該プランジャ又はピストン(7)が、前記グリッパ(12,13,14)に作用する頭部(8a)を備えている形式のものにおいて、前記グリッパ(12,13,14)が、ケーシング(4)の頭部(5)に設けられた開口部又は貫通孔(17,18,19)で保持されて案内されており、前記グリッパの旋回運動が、ケーシング(4,5)の長手方向軸線(L)に対して横方向の軸線を中心に行われるようになっており、全てのグリッパの旋回軸線(a,b,c)が1つの平面(e)に延びていて、これらの旋回軸線(a,b,c)が一緒になって、前記長手方向軸線(L)を取り囲む等辺多角形を形成しており、前記グリッパ(12,13,14)の、ピストン(7)に面した端部が、弾性的な材料から成るリング又はガータスプリング(15)によって一緒に取り囲まれており、前記ガータスプリング(15)により、前記グリッパ(12,13,14)が、旋回運動を制限するストッパ面(4b)に引き付けられていることを特徴とする、扁平な基板を把持しかつ保持するための装置。