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J-GLOBAL ID：200903097024500186

圧電アクチュエーター及びその製造方法

Inventor： 木島 公一郎 ,  中山 徹生 ,  村上 隆昭
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 小池 晃 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995193365
Publication number (International publication number)：1997045973
Application date： Jul. 28, 1995
Publication date： Feb. 14, 1997
Summary：

【要約】【課題】 応答性を良好にし、生産性も良好とする。【解決手段】 板材1と圧電セラミックス2を、少なくともガリウムを含有する液体金属と板材1或いは圧電セラミックス2間の相互拡散現象による合金化反応、或いは上記液体金属と金属粉間の相互拡散現象による合金化反応により形成される合金層3により接着する。なお、上記合金層3はインジウム,錫,亜鉛のうち少なくとも1種類以上と、銅,銀,金,パラジウムのうち少なくとも1種類以上を含有しても良い。また、上記板材1及び圧電セラミックス2の少なくとも一方の接着面側に金属が配されていても良く、上記金属が銅,銀,金,錫,パラジウムのうち少なくとも1種類以上であっても良い。さらには、板材1の接着面1a側に金属層が形成されていても良い。さらにまた、上記板材1と合金層3間或いは圧電セラミックス2と合金層3間の少なくとも一方にアモルファス層が形成されていても良い。

Claim (excerpt)：

板材上に圧電セラミックスが接着されてなる圧電アクチュエーターにおいて、板材と圧電セラミックス間が少なくともガリウムを含有する合金層により接着されていることを特徴とする圧電アクチュエーター。

IPC (6)：

H01L 41/09 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  C23C 2/34 ,  H01L 41/22 ,  H02N 2/00

FI (5)：

H01L 41/08 C ,  C23C 2/34 ,  H02N 2/00 B ,  B41J 3/04 103 A ,  H01L 41/22 Z