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J-GLOBAL ID：200903097024536830

ウエハーマウンタ

Inventor： 赤谷 秀則
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社 ,  富士通ヴィエルエスアイ株式会社
Agent (1)： 有我 軍一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993325648
Publication number (International publication number)：1995183365
Application date： Dec. 24, 1993
Publication date： Jul. 21, 1995
Summary：

【要約】【目的】 未だ使用できるUVテープを途中で交換することなく、UVテープを最後まで使用することができるとともに、装置を止めることなくUVテープを交換することができ、インラインで一定時間無人化運転することができる。【構成】 平行に対向するように各々配置されたテープ5を送る第1,第2のテープ送り部1,2と、該第1,第2のテープ送り部1,2に各々接続された第1,第2の電磁クラッチ9,10と、該第1、第2の電磁クラッチ9,10に挟まれるように該第1,第2の電磁クラッチ9,10に接続されたプーリ11と、該プーリ11により該第1、第2の電磁クラッチ9,10と接続され、かつその動力を該第1、第2の電磁クラッチ9,10の切り換えにより該第1、第2のテープ送り部1,2に各々伝えるテープ送り用モータ8とを有する。

Claim (excerpt)：

平行に対向するように各々配置されたテープ(5)を送る第1、第2のテープ送り部(1,2)と、該第1、第2のテープ送り部(1,2)に各々接続された第1,第2の電磁クラッチ(9,10)と、該第1、第2の電磁クラッチ(9,10)に挟まれるように該第1,第2の電磁クラッチ(9,10)に接続されたプーリ(11)と、該プーリ(11)により該第1、第2の電磁クラッチ(9,10)と接続され、かつその動力を該第1、第2の電磁クラッチ(9,10)の切り換えにより該第1、第2のテープ送り部(1,2)に各々伝えるテープ送り用モータ(8)とを有することを特徴とするウエハーマウンタ。

IPC (3)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/301