Pat
J-GLOBAL ID：200903097025598724
表面弾性波素子及びその製造方法
Inventor：
,
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
上代 哲司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992034754
Publication number (International publication number)：1993235683
Application date： Feb. 21, 1992
Publication date： Sep. 10, 1993
Summary：
【要約】【目的】 数百MHzから数GHzに動作周波数を持ち、大きな伝播速度及び電気機械結合係数を有する、ダイヤモンドを用いた表面弾性波素子を提供する。【構成】 ダイヤモンド層あるいはダイヤモンド状炭素層の上にZnO層を積層し、その上にくし型電極を配置してなる表面弾性波素子において、ZnOの膜厚の範囲を波長との関係で規定し、同時に表面弾性波のモードを特定する。【効果】 極高周波域において使用出来る表面弾性波素子を提供することが出来る。表面弾性波素子の例としてはフィルターに加えて、共振器、遅延線、信号処理素子、コンボルバ、コリレータ等が挙げられる。
Claim (excerpt)：
ダイヤモンド層あるいはダイヤモンド状炭素層の上にZnO層を積層し、その上にくし型電極を配置してなる表面弾性波素子において、ZnO層の厚みをH、表面弾性波の波長をλとして、(2π・H/λ)の値が、(2π・H/λ)=0.9〜2.3を満たす構造で励起される、表面弾性波の2次モードを利用することを特徴とする表面弾性波素子。
Patent cited by the Patent：
Return to Previous Page
