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J-GLOBAL ID：200903097029047137
固体撮像素子とその製造方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
山下 穣平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991184172
Publication number (International publication number)：1993013734
Application date： Jun. 28, 1991
Publication date： Jan. 22, 1993
Summary：
【要約】【目的】 本発明の目的は、表面反射光を防止した遮光層や、光反射防止膜を用いることにより、フレア等の悪影響を防止するとともに、微細加工の精度を向上した固体撮像素子及びその製造方法を提供することにある。【構成】 配線金属層8上に光反射防止層14を有することを特徴とする固体撮像素子であり、また、遮光層12上に光反射防止層13を有することを特徴とする固体撮像素子である。また前記光反射防止層として、TiN,Ti,Ti/TiN,TiON,TiWのいずれかを用いることにより、反射光の悪影響を防止することができる。
Claim (excerpt)：
配線金属層上に光反射防止層を有することを特徴とする固体撮像素子。
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (9)
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