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J-GLOBAL ID：200903097045470163

窒化物の直接接合方法及びその直接接合物

Inventor： 永久保 雅夫 ,  鈴木 晴視 ,  倉橋 崇
Applicant, Patent owner： 株式会社デンソー
Agent (1)： 藤谷 修
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995260895
Publication number (International publication number)：1997082588
Application date： Sep. 12, 1995
Publication date： Mar. 28, 1997
Summary：

【要約】【課題】接合する一方の材料の表面が窒化物の場合に、高温又は高圧にすることなく、2つの材料を直接接合することを可能とすること。【解決手段】 第1材料13、第2材料14の表面が洗浄された後、第1材料の表面における窒素原子が水素原子で終端される。水素原子で表面が終端化された第1材料の表面と他の第2材料14との表面とを密着させる。これにより、第2材料の表面の窒素原子と結合した水素原子と第2材料の表面の原子と水素結合する。この水素結合により第1材料の表面と第2材料の表面とは強固に接合する。又、第2材料の表面が窒化物又は酸化物で形成されている場合には、第1材料と第2材料とは、N-H...N、又は、N-H...Oの水素結合となり、強固な結合となる。このような結合が可能なため、本発明は、高温加熱や高圧を必要としない。

Claim (excerpt)：

少なくとも一方の材料の少なくとも表面が窒化物で覆われた第1材料の表面と、他の第2材料の表面とを接合する方法において、前記第1材料及び前記第2材料の表面を清浄し、その後に、前記第1材料の前記表面において窒素原子が水素原子で終端された状態を形成し、その後に、前記第1材料の前記表面と前記第2材料の前記表面とを密着することを特徴とする窒化物の直接接合方法。

IPC (5)：

H01L 21/02 ,  B01J 19/00 ,  B01J 19/08 ,  C04B 35/58 101 ,  B23K 20/00

FI (5)：

H01L 21/02 B ,  B01J 19/00 D ,  B01J 19/08 E ,  C04B 35/58 101 Z ,  B23K 20/00 A