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J-GLOBAL ID：200903097059552278

認識記号付石英ガラス治具

Inventor： 大越 信一
Applicant, Patent owner： 株式会社山形信越石英 ,  信越石英株式会社
Agent (1)： 服部 平八
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993148339
Publication number (International publication number)：1994338560
Application date： May. 28, 1993
Publication date： Dec. 06, 1994
Summary：

【要約】【目的】 使用履歴、運用等の管理をきめ細かく、しかも容易に行い得る石英ガラス治具を提供すること。【構成】 濃色セラミックスで形成した認識記号付石英ガラス治具。

Claim (excerpt)：

濃色セラミックスで形成した認識記号付石英ガラス治具。

IPC (2)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 特開平1-283942