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J-GLOBAL ID：200903097065456027

高温摺動部材用硬質膜

Inventor： 長坂 浩志 ,  角谷 桃子 ,  宮坂 松甫 ,  片岡 匡史
Applicant, Patent owner： 株式会社荏原製作所
Agent (1)： 渡邉 勇 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998302259
Publication number (International publication number)：2000129420
Application date： Oct. 23, 1998
Publication date： May. 09, 2000
Summary：

【要約】【課題】 TiN膜の優れた耐摩耗性および低摩擦係数を生かしつつ、耐高温腐食性を向上させた高温摺動部材用硬質膜を提供する。【解決手段】 窒化チタンを主成分とし、Al,Cr,Zr及びHfから選ばれる少なくとも一つの元素を含有する窒化物であって、前記窒化物の結晶粒子の格子定数が0.414nmから0.423nmの範囲にある面心立方晶構造である。

Claim (excerpt)：

窒化チタンを主成分とし、Al,Cr,Zr及びHfから選ばれる少なくとも一つの元素を含有する窒化物であって、前記窒化物の結晶粒子の格子定数が0.414nmから0.423nmの範囲にある面心立方晶構造であることを特徴とする高温摺動部材用硬質膜。

IPC (4)：

C23C 14/06 ,  B23P 15/28 ,  C01B 21/076 ,  C23C 14/32

FI (4)：

C23C 14/06 A ,  B23P 15/28 A ,  C01B 21/076 B ,  C23C 14/32 F

F-Term (12)：

4K029AA02 ,  4K029BA58 ,  4K029BA60 ,  4K029BB07 ,  4K029BC00 ,  4K029BC02 ,  4K029BD04 ,  4K029CA09 ,  4K029DB03 ,  4K029DB18 ,  4K029FA04 ,  4K029JA02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開平2-138459
  
• シール又は軸受
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-128408   Applicant：工業技術院長, 株式会社荏原製作所