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J-GLOBAL ID：200903097065812958

排ガス処理方法

Inventor： 市川 勝 ,  大西 隆一郎 ,  新井 博通
Applicant, Patent owner： セントラル硝子株式会社
Agent (1)： 坂本 栄一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994154043
Publication number (International publication number)：1996019727
Application date： Jul. 06, 1994
Publication date： Jan. 23, 1996
Summary：

【要約】【目的】NF3 を含む排ガスの処理方法を提供する。【構成】NF3 を含む排ガスを、4〜7Åの細孔径をもつ、活性炭、モレキュラーシービングカーボン、ゼオライトの中の少なくとも1種類以上の吸着剤を充填した充填層に、-20〜80°Cの温度範囲で通過させる。また、フッ素系酸性ガスを含有する場合、当該ガスを処理するため前段に処理装置を設置する。

Claim (excerpt)：

NF3 を含有する排ガスを、4〜7Åの細孔径をもつ、活性炭、モレキュラーシービングカーボン、ゼオライトの中の少なくとも1種類以上の吸着剤を充填した充填層を通過させることにより、選択的にNF3 を吸着除去することを特徴とする排ガス処理方法。

IPC (3)：

B01D 53/68 ,  B01D 53/34 ZAB ,  B01D 53/54

FI (3)：

B01D 53/34 134 C ,  B01D 53/34 ZAB ,  B01D 53/34 128