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J-GLOBAL ID：200903097082743609

レジスト除去用接着シ-ト類とレジスト除去方法

Inventor： 木原 康夫 ,  近田 縁 ,  松村 健 ,  橋本 浩一 ,  関戸 達也
Applicant, Patent owner： 日東電工株式会社
Agent (1)： 祢▲ぎ▼元 邦夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996125640
Publication number (International publication number)：1997311464
Application date： May. 21, 1996
Publication date： Dec. 02, 1997
Summary：

【要約】【課題】 物品上の不要となつたレジスト膜画像を、その種類や性状に関係なく、接着シ-ト類を用いて簡便にかつ確実に除去し、また除去後に物品上にパ-テイクルが残らなくなるようにする。【解決手段】 レジスト除去用接着シ-ト類として、フイルム基材上に光硬化型接着剤層を設け、この接着剤層中にN-メチロ-ル(メタ)アクリルアミドまたはその誘導体を含ませてなるものを使用し、この接着シ-ト類をレジスト膜画像が存在する物品上に貼り付け、この接着シ-ト類を光硬化させたのち、この接着シ-ト類とレジスト材とを一体に剥離して、物品上のレジスト材を除去する。

Claim (excerpt)：

フイルム基材上に光硬化型接着剤層が設けられてなり、かつ上記の接着剤層中につぎの一般式(1);CH2 =CR1 CONHCH2 OR2 ...(1)〔式中、R1 は水素またはメチル基であり、R2 は水素またはCn H2n+1基(n=1〜4)である〕で表わされるN-メチロ-ル(メタ)アクリルアミドまたはその誘導体が含まれていることを特徴とするレジスト除去用接着シ-ト類。

IPC (6)：

G03F 7/42 ,  C09J 7/02 JJU ,  C09J 7/02 JJW ,  C09J 7/02 JKF ,  C09J 7/02 JLE ,  H01L 21/027

FI (6)：

G03F 7/42 ,  C09J 7/02 JJU ,  C09J 7/02 JJW ,  C09J 7/02 JKF ,  C09J 7/02 JLE ,  H01L 21/30 572 Z