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J-GLOBAL ID：200903097091226048

外観検査装置

Inventor： 浜地 尚史
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所 ,  日立北海セミコンダクタ株式会社
Agent (1)： 筒井 大和
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993054476
Publication number (International publication number)：1994265323
Application date： Mar. 16, 1993
Publication date： Sep. 20, 1994
Summary：

【要約】【目的】 ICのリードなどを検査する外観検査装置において、1台のカメラで被検査物の側面と裏面との両方を検査する外観検査装置を提供する。【構成】 カメラによって外観を検査する外観検査装置であって、被検査物であるIC4の置台であり、さらにIC4のリード4aの内側の側面の像を鏡面部8に反射させる側面像反射部材9と、前記鏡面部8に反射するリード4aの内側の側面の像(平坦度検査像11)とリード4aの裏面の像(横曲がり検査像12)との2つの像をIC4の裏側から取り込むように設置されたカメラ10と、前記カメラ10の出力であるカメラ画像とから構成されるものである。

Claim (excerpt)：

被検査物の外観を検査する装置であって、該被検査物の側面の像を反射させる鏡面部を備えた側面像反射部材が設けられることを特徴とする外観検査装置。

IPC (5)：

G01B 11/24 ,  G01N 21/88 ,  G06F 15/62 405 ,  G06F 15/64 ,  H01L 21/66