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J-GLOBAL ID：200903097098530362
高温高湿型原子間力顕微鏡及び化学反応の観察・定量化 方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
岩佐 義幸
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992082985
Publication number (International publication number)：1994123744
Application date： Mar. 06, 1992
Publication date： May. 06, 1994
Summary：
【要約】【目的】 温度100°C以下、相対湿度90%以下の高温高湿環境下で動作する原子間力顕微鏡(AFM)を提供する。【構成】 貴金属系薄膜で被覆したAFM用探針、温度変動を±0.1°C、相対湿度変動を±1.0%以内に制御した熱膨張係数5×10-8(/°C)以下のAFM設置用容器8、樹脂およびガラスで被覆した探針駆動用Z軸アクチュエータ4と試料走査用XYポジショナ3、無反射ガラス容器内に真空封入した探針変位測定系6,7、セラミック製パッケージ及びガラス容器内に真空封入した探針駆動回路用前置き増幅器5を有する。【効果】 従来まったく困難であった高温高湿環境に曝露した表面についてAFMによるその場観察が可能となり、腐食反応などの表面反応に関して多くの情報が得られる。
Claim (excerpt)：
温度100°C以下、相対湿度90%以下の高温高湿環境下で動作するように構成したことを特徴とする高温高湿型原子間力顕微鏡。
Patent cited by the Patent：
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