Pat
J-GLOBAL ID：200903097102712560
走査型寸法測定装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
丹羽 宏之 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995196676
Publication number (International publication number)：1997042928
Application date： Aug. 01, 1995
Publication date： Feb. 14, 1997
Summary：
【要約】【目的】 安価で小型の、2次元寸法の検出できる走査型寸法測定装置を提供する。【解決手段】 半導レーザ100からのレーザビーム110を、2次元ガルバノミラー101で2次元に偏向し、被測定物112に照射し、光位置検出素子(PSD)103上の投影像113より被測定物112の各部の寸法を検出する。
Claim (excerpt)：
レーザビーム発生手段と、このレーザービーム発生手段からレーザービームを受けて偏向するガルバノミラーと、このガルバノミラーからのレーザービームを受けてその入射位置を検出する光入射位置検出手段とを備え、前記ガルバノミラーと前記光入射位置検出手段との間に被測定物を配置しこの被測定物の寸法を測定する走査型寸法測定装置。
IPC (3)：
G01B 11/02
, G02B 26/10
, G02B 26/10 104
G01B 11/02 Z
, G02B 26/10 C
, G02B 26/10 104 Z
Cited by examiner (9)
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