表面検査装置及び方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小林和憲
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004019990
Publication number (International publication number)：2005214720
Application date： Jan. 28, 2004
Publication date： Aug. 11, 2005
Summary：

【課題】被検査物の表面の欠陥について欠陥種類を特定することができる簡易な表面検査装置及び方法を提供する。【解決手段】表面検査装置5は光源10と受光器11とを備えている。光源10は表面3aと直角に交わる平面上に設けられ表面3aに対する角度を各々違えて半円状に並べられている。受光器11は光源10が並べられている平面に対して所定角度を成すようにして設けられている。光源10は照明条件を変化させて検査領域3bを照明し、受光器11は照明の反射光のうち乱反射成分あるいは正反射成分の一部を受光する。各照明条件毎に取得した受光情報に基づいて表面パターンを作成し、この表面パターンと予め記録されている欠陥パターンとを比較する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

被検査物の表面の欠陥を検査する表面検査装置において、前記表面に対する照明入射角度を各々違えて複数設けられ、点灯時に前記表面を照明する光源と、複数の前記光源のうち任意の光源を点灯させることで前記表面の照明条件を変化させる照明条件変更手段と、前記表面に反射した照明の反射光を受光する受光手段と、照明条件の変更の度に前記受光手段により取得された受光情報に基づいて、前記表面の表面情報を作成する表面情報作成手段と、作成された前記表面情報と、欠陥を有する表面について予め取得されている情報であり欠陥種類毎に作成された欠陥情報とを比較して、前記表面における欠陥の有無及び欠陥種類の判別を行う欠陥判別手段とを有することを特徴とする表面検査装置。

IPC (2)：

G01N21/892 , G01B11/30

FI (2)：

G01N21/892 A , G01B11/30 A

F-Term (45)：

2F065AA49 , 2F065BB01 , 2F065CC02 , 2F065CC06 , 2F065DD02 , 2F065FF04 , 2F065FF41 , 2F065GG02 , 2F065GG07 , 2F065GG08 , 2F065GG14 , 2F065GG17 , 2F065HH03 , 2F065HH12 , 2F065HH13 , 2F065HH14 , 2F065JJ03 , 2F065JJ08 , 2F065JJ26 , 2F065MM02 , 2F065NN01 , 2F065PP12 , 2F065QQ23 , 2F065QQ25 , 2F065QQ38 , 2F065RR05 , 2F065RR09 , 2F065SS02 , 2F065SS03 , 2F065SS04 , 2F065SS13 , 2F065UU01 , 2G051AA32 , 2G051AA37 , 2G051AB02 , 2G051BA01 , 2G051BA20 , 2G051BB01 , 2G051BC02 , 2G051CA04 , 2G051CB01 , 2G051DA07 , 2G051EA25 , 2G051EB01 , 2G051EC01

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

特許第3312849号公報
特許第3204443号公報
特許第3012602号公報

Return to Previous Page