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J-GLOBAL ID：200903097107471854

位置検出装置及びそれを用いた露光装置

Inventor： 長谷川 雅宣 ,  稲 秀樹
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 高梨 幸雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998279431
Publication number (International publication number)：2000088521
Application date： Sep. 14, 1998
Publication date： Mar. 31, 2000
Summary：

【要約】【課題】 ウエハのアライメントマークの立体形状を高精度に検出することができる位置検出装置及びそれを用いた露光装置を得ること。【解決手段】 観察物体の位置を検出する検出光学系を有した位置検出装置において、該検出光学系は、その光路中の観察物体の結像面又はその近傍に光軸と直交する面内において、回転する円盤格子を有し、該円盤格子は開口スリット状開口を有しており、光源からの光束で該スリット状開口を介して前記観察物体を照明するとともに、前記観察物体からの反射光を再び該スリット状開口を介して検出手段面上に導光しており、該円盤格子を回転させたときに該検出手段で得られる信号を利用して該観察物体の位置を検出すること。

Claim (excerpt)：

観察物体の位置を検出する検出光学系を有した位置検出装置において、該検出光学系は、その光路中の観察物体の結像面又はその近傍に光軸と直交する面内において、回転する円盤格子を有し、該円盤格子はスリット状開口を有しており、光源からの光束で該スリット状開口を介して前記観察物体を照明するとともに、前記観察物体からの反射光を再び該スリット状開口を介して検出手段面上に導光しており、該円盤格子を回転させたときに該検出手段で得られる信号を利用して該観察物体の位置を検出することを特徴とする位置検出装置。

IPC (4)：

G01B 11/00 ,  G03F 7/22 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/027

FI (5)：

G01B 11/00 C ,  G03F 7/22 H ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 518 ,  H01L 21/30 525 E

F-Term (38)：

2F065AA03 ,  2F065AA54 ,  2F065BB13 ,  2F065BB17 ,  2F065CC18 ,  2F065CC19 ,  2F065DD03 ,  2F065FF04 ,  2F065FF42 ,  2F065FF51 ,  2F065GG03 ,  2F065GG05 ,  2F065GG12 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ16 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065LL30 ,  2F065LL37 ,  2F065LL42 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  5F046BA04 ,  5F046BA05 ,  5F046CC01 ,  5F046CC05 ,  5F046CC06 ,  5F046CC11 ,  5F046DA05 ,  5F046DA14 ,  5F046EA03 ,  5F046EB01 ,  5F046FA03 ,  5F046FA10 ,  5F046FA16 ,  5F046FB16