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J-GLOBAL ID：200903097108946694

固定砥粒マルチワイヤソー

Inventor： 田子 一弘 ,  塚田 修一
Applicant, Patent owner： 株式会社東京精密
Agent (1)： 松浦 憲三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999102857
Publication number (International publication number)：2000296455
Application date： Apr. 09, 1999
Publication date： Oct. 24, 2000
Summary：

【要約】【目的】固定砥粒マルチワイヤソーによる切断加工において、良好なウェーハ切断面を得るとともに、能率良く低コストで加工する。【構成】固定砥粒マルチワイヤソー10においてインゴット38の切断部分とその近傍に水または水溶性の加工液50を噴射しながら切断加工を行うようにしたので、加工液50の一括管理が容易に可能となり、固定砥粒マルチワイヤソー10の部品構成が簡潔となった。更に冷却効果の向上により切断面精度を良好な状態に維持でき、作業環境を良好な状態に維持できるとともに、加工液の処理を容易に行える。従って低コストで生産性の高いワイヤソーを提供することができる。

Claim (excerpt)：

ワイヤ表面に砥粒が固着された固定砥粒付ワイヤを走行させながら被加工物を押し当てることにより、該被加工物を切断する固定砥粒マルチワイヤソーにおいて、前記被加工物の切断部分とその近傍に水または水溶性の加工液を噴射しながら切断加工を行うことを特徴とする固定砥粒マルチワイヤソー。

F-Term (8)：

3C058AA05 ,  3C058AA16 ,  3C058AA18 ,  3C058AB03 ,  3C058AC04 ,  3C058CA05 ,  3C058CA06 ,  3C058CB01