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J-GLOBAL ID：200903097126946693

圧電素子を用いた力・加速度・磁気のセンサ

Inventor： 岡田 和廣
Applicant, Patent owner： 岡田 和廣
Agent (1)： 志村 浩
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991203876
Publication number (International publication number)：1993026744
Application date： Jul. 17, 1991
Publication date： Feb. 02, 1993
Summary：

【要約】【目的】 温度補償なしに高精度な検出が可能であり、しかも製造プロセスが容易な力、加速度、磁気のセンサを提供する。【構成】 可撓性をもった円盤状の基板10の周囲部分はセンサ筐体に固定され、中心部分には作用体50が接合される。基板10内の原点Oについて、XYZ三次元座標系を定義し、X軸に沿って、4組の検出子D1〜D4が配置される。各検出子は圧電素子21,23を上部電極31〜34と下部電極41〜44とで挟んだサンドイッチ構造をしている。加速度の作用により、作用体50にX軸方向の力Fxが作用すると、基板10が撓み、各電極に正または負の電荷が発生する。電荷の発生態様は、作用した力の方向に依存し、電荷の発生量は、作用した力の大きさに依存する。よって、この電荷発生パターンに基づいて、作用した力の各軸方向成分を検出できる。

Claim (excerpt)：

板状の圧電素子と、この圧電素子の上面に形成された上部電極と、この圧電素子の下面に形成された下部電極と、によって構成される検出子を4組用意し、可撓性をもった基板内の1点に原点を定義し、この原点を通りかつ基板面に平行な方向にX軸を定義し、前記4組の検出子のうちの2組をX軸の正の側に、他の2組を負の側に、それぞれX軸に沿って並べて配置し、各検出子の一方の電極を前記基板に固定し、前記基板外側の周囲部分をセンサ筐体に固定し、外部から作用する物理量に基いて発生した力を、前記原点に伝達する機能を有する作用体を形成し、前記作用体に発生した力を、前記4組の検出子の各電極に発生する電荷に基づいて検出するようにしたことを特徴とする圧電素子を用いた力センサ。

IPC (4)：

G01L 1/16 ,  G01L 5/16 ,  G01L 9/08 ,  G01P 15/09