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J-GLOBAL ID：200903097132955866

化学物質検出装置

Inventor： 白井 正敬 ,  菅原 俊樹 ,  宍倉 正人
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 作田 康夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003172774
Publication number (International publication number)：2005009944
Application date： Jun. 18, 2003
Publication date： Jan. 13, 2005
Summary：

【課題】化学物質検出装置の検出感度の向上を図ること。【解決手段】基板上に形成したマッハツェンダー干渉計を有する化学物質検出チップにおいて、干渉計入力光導波路部又は出力光導波路部の一部をテーパ形状の導波路とするか、又はマッハツェンダー干渉計のY分岐から二つに分岐する導波路の一方の導波路の厚さ又は幅をテーパ状に変化するように構成する。【選択図】 図11

Claim (excerpt)：

入力光導波路部と、出力光導波路部と、 前記入力光導波路部と前記出力光導波路部との間に設けられ、かつ、それぞれ2つに分岐する第1および第2の分岐部を介して接続される第1および第2の中間光導波路部を有したマッハツェンダー干渉計とが基板上に設けられ、 前記第1の中間光導波路部の少なくとも一部の表面上には被検出物質と特異的に結合するリガンドが設けられ、 前記入力光導波路部と前記第1の分岐部との接続部分における前記入力光導波路部の導波路の幅または厚さの少なくとも一方の大きさは、前記入力光導波路部と前記第1の分岐部との接続部分と反対側の端部近傍における前記入力光導波路部の導波路の幅または厚さの少なくとも一方の大きさよりも小さく、 前記第1および第2の中間光導波路部の導波路の幅または厚さの少なくとも一方の大きさは、前記入力光導波路部と前記第1の分岐部との接続部分と反対側の端部近傍における前記入力光導波路部の導波路の幅または厚さの少なくとも一方の大きさよりも小さいことを特徴とする化学物質検出装置。

IPC (2)：

G01N21/45 ,  G01N21/39

FI (2)：

G01N21/45 A ,  G01N21/39

F-Term (16)：

2G059AA01 ,  2G059AA05 ,  2G059BB08 ,  2G059BB12 ,  2G059CC16 ,  2G059EE09 ,  2G059GG01 ,  2G059GG09 ,  2G059HH01 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK01 ,  2G059KK03 ,  2G059PP04 ,  2G059PP06