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J-GLOBAL ID：200903097142903694

誘電体用セラミックスの製造方法

Inventor： 佐久間 健人 ,  宮沢 薫一 ,  馬場 芳美 ,  水野 祥樹
Applicant, Patent owner： 株式会社アドバンス
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993280292
Publication number (International publication number)：1995113177
Application date： Oct. 14, 1993
Publication date： May. 02, 1995
Summary：

【要約】【目的】 金属アルコキシドを原料とした誘電体用セラミックスを製造する方法を提供する。【構成】 金属アルコキシドのアルキルアルコール溶液を処理対象物表面に塗布し、超臨界状態でアルキルアルコールを乾燥させた後、焼成することにより処理対象物表面に誘電体用セラミックスの厚膜の製造を行う。

Claim (excerpt)：

金属アルコキシドのアルキルアルコール溶液を処理対象物表面に塗布し、超臨界状態でアルキルアルコールを乾燥させた後、焼成することにより処理対象物表面に誘電体用セラミックスの厚膜を形成することを特徴とする誘電体用セラミックスの製造方法。

IPC (2)：

C23C 18/12 ,  H01L 41/24