記録媒体用スパッタリングターゲットと磁気記録媒体

Inventor： , , , , , , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：須山佐一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002119888
Publication number (International publication number)：2003313659
Application date： Apr. 22, 2002
Publication date： Nov. 06, 2003
Summary：

【要約】【課題】磁気記録媒体の記録層にL10構造の規則相合金膜を適用するにあたって、スパッタ成膜した磁性合金膜の比較的低いアニール温度での規則化を可能にする。【解決手段】記録媒体用スパッタリングターゲットは、FeおよびCoから選ばれる少なくとも1種の元素と、PtおよびPdから選ばれる少なくとも1種の元素、さらに必要に応じて添加成分を含む磁性合金の焼結体を具備する。この焼結ターゲットは酸素含有量が1000ppm以下とされている。磁気記録媒体は、支持基板上に形成され、かつL10構造の規則相を有する磁性合金からなる記録層と、この記録層を覆うように設けられた保護層とを具備する。記録層は残留酸素量が30原子%以下とされている。

Claim (excerpt)：

FeおよびCoから選ばれる少なくとも1種の元素と、PtおよびPdから選ばれる少なくとも1種の元素とから実質的になる磁性合金の焼結体を具備する記録媒体用スパッタリングターゲットであって、前記ターゲットの酸素含有量が1000ppm以下であることを特徴とする記録媒体用スパッタリングターゲット。

IPC (10)：

C23C 14/34 , B22F 3/00 , C22C 5/04 , C22C 19/07 , C22C 32/00 , G11B 5/64 , G11B 5/65 , G11B 5/738 , G11B 5/851 , C22C 38/00 303

FI (11)：

C23C 14/34 A , B22F 3/00 E , C22C 5/04 , C22C 19/07 C , C22C 32/00 P , C22C 32/00 Z , G11B 5/64 , G11B 5/65 , G11B 5/738 , G11B 5/851 , C22C 38/00 303 H

F-Term (39)：

4K018AA02 , 4K018AA10 , 4K018AA24 , 4K018AB01 , 4K018AB03 , 4K018AC01 , 4K018BA01 , 4K018BA04 , 4K018BA16 , 4K018BB04 , 4K018DA11 , 4K018EA01 , 4K018EA11 , 4K018FA01 , 4K018FA08 , 4K018KA29 , 4K029BA22 , 4K029BA24 , 4K029BA26 , 4K029BA64 , 4K029BD11 , 4K029CA05 , 4K029DC04 , 4K029DC09 , 5D006BB05 , 5D006BB06 , 5D006BB07 , 5D006CA01 , 5D006CA05 , 5D006CA06 , 5D006EA03 , 5D112AA03 , 5D112AA05 , 5D112BB02 , 5D112BD03 , 5D112BD04 , 5D112FA04 , 5D112FB02 , 5D112FB06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

Co系ターゲットおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-281975 Applicant：日立金属株式会社
CoPt系スパッタリングターゲットおよびその製造方法ならびにこれを用いた磁気記録膜およびCoPt系磁気記録媒体
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-085414 Applicant：日立金属株式会社
磁気記録媒体及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-298748 Applicant：高橋研

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