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J-GLOBAL ID：200903097171839148
光熱変位計測による試料評価方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
本庄 武男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994068265
Publication number (International publication number)：1995280744
Application date： Apr. 06, 1994
Publication date： Oct. 27, 1995
Summary：
【要約】【目的】 高精度での光熱変位計測を行い得て,しかも高分解能での試料評価をも行い得る光熱変位計測による試料評価方法。【構成】 本方法による装置A1は,レーザ1により発生させたレーザ光1,2を音響光学変調器4,9に通すことにより光の振動周波数が異なる3つのレーザ光1′,1′′,2′を発生させ,これら3つのレーザ光のうちの2つ1′,1′′を干渉させて試料8に照射し,試料8からの反射光と残る1つのレーザ光2′とを干渉させ,この干渉光の所定の周波数成分の振幅に基づいて試料8を評価するように構成されている。上記構成により,高精度での光熱変位計測と高分解能での試料評価とを行うことができる。
Claim (excerpt)：
試料に光を照射し,それによる試料の光熱変位を計測することにより試料を評価する方法において,光の振動周波数が異なる3つの光を発生させ,上記3つの光の内の2つを干渉させて上記試料に照射し,上記試料からの反射光と,上記3つの光の内の残る1つの光とを干渉させ,上記干渉光の所定の周波数成分の振幅に基づいて上記試料を評価することを特徴とする光熱変位計測による試料評価方法。
IPC (2)：
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