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J-GLOBAL ID：200903097209009349

繰返しパターンの欠陥検査装置

Inventor： 依田 晴夫 ,  大内 洋三 ,  酒匂 裕
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992325191
Publication number (International publication number)：1993264464
Application date： Apr. 15, 1983
Publication date： Oct. 12, 1993
Summary：

【要約】【目的】 半導体メモリなど2値の映像信号を用いた比較では、欠陥検査が困難な繰返しパターンの欠陥でも抽出できる検査装置を提供することである。【構成】 本発明は、微細な同一の繰返しパターンが規則的に配列された被検査物を走査して映像信号を取り込む撮像手段10と、映像信号を多値のディジタル信号に変換する変換手段11と、隣接し合う繰返しパターンに対応する多値のディジタル信号を比較する比較手段13を備えて、繰返しパターンの欠陥を検査するものである。

Claim (excerpt)：

微細な同一の繰返しパターンが規則的に配列された被検査物を走査して映像信号を取り込む撮像手段と、上記映像信号を多値のディジタル信号に変換する変換手段と、隣接し合う上記繰返しパターンに対応する上記多値のディジタル信号を比較する比較手段を備え、上記繰返しパターンの欠陥を検査することを特徴とする繰返しパターンの欠陥検査装置。

IPC (3)：

G01N 21/88 ,  G06F 15/62 405 ,  H01L 21/66

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭56-162037
  
• 特開昭55-074409
  
• 特開昭56-126752