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J-GLOBAL ID:200903097213741950
塗布装置および塗布方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
金山 聡
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999240684
Publication number (International publication number):2001062368
Application date: Aug. 27, 1999
Publication date: Mar. 13, 2001
Summary:
【要約】【課題】 ダイヘッドを目的とする基材(塗工材)に対し相対的に移動させながら、液状塗布材を、前記基材の平面上に塗布する塗布装置で、塗布液の流動特性に依存しないで、均一な塗布ができる塗布装置を提供する。同時に、塗布液の流動特性に依存しないで、均一な塗布ができる、ダイヘッドを用いた塗布方法を提供する。【解決手段】 ダイヘッドを目的とする基材(塗工材)に対し相対的に移動させながら、液状塗布材を、前記基材の平面上に塗布する塗布装置であって、ダイヘッドの塗布幅に対応して設けられたマニホールド部の幅方向全域に渡り、マニホールド部内に、あるいはマニホールド部に隣接するように設けられた、マニホールド部内の液状塗布材に、制御された所定の圧力をかける流体室と、流体室へ通じて、流体室の圧を調整するための、流体圧調整部と、塗布液供給口に液状塗布材を供給する塗布液供給部とを備え、更に必要に応じ、塗布液供給部と流体圧調整部とを関連つけて制御する制御部とを備え、流体室の所定圧の流体にて、ダイヘッド吐出口からの液状塗布材の吐出を制御するものである。
Claim (excerpt):
ダイヘッドを目的とする基材(塗工材)に対し相対的に移動させながら、液状塗布材を、前記基材の平面上に塗布する塗布装置であって、ダイヘッドの塗布幅に対応して設けられたマニホールド部の幅方向全域に渡り、マニホールド部内に、あるいはマニホールド部に隣接するように設けられた、マニホールド部内の液状塗布材に、制御された所定の圧力をかける流体室と、流体室へ通じて、流体室の圧を調整するための、流体圧調整部と、塗布液供給口に液状塗布材を供給する塗布液供給部とを備え、更に必要に応じ、塗布液供給部と流体圧調整部とを関連つけて制御する制御部とを備え、流体室の所定圧の流体にて、ダイヘッド吐出口からの液状塗布材の吐出を制御するものであることを特徴とする塗布装置。
IPC (5):
B05C 5/02
, B05C 11/10
, H01J 9/22
, H01J 9/227
, H01J 11/02
FI (5):
B05C 5/02
, B05C 11/10
, H01J 9/22 D
, H01J 9/227 E
, H01J 11/02 B
F-Term (11):
4F041AA12
, 4F041CA02
, 4F041CA16
, 4F042AA22
, 4F042BA06
, 4F042BA08
, 4F042BA12
, 4F042CB03
, 4F042CB11
, 5C028FF16
, 5C028HH14
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