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J-GLOBAL ID：200903097219613759
ガスレーザ装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
橋爪 良彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996093179
Publication number (International publication number)：1997260749
Application date： Mar. 22, 1996
Publication date： Oct. 03, 1997
Summary：
【要約】【課題】 レーザガス交換直後のレーザ発振開始の当初から所定の高いレーザ出力パワーが得られるガスレーザ装置を提供する。【解決手段】 使用済みのレーザチャンバ1内のレーザガスを新鮮なレーザガスに交換するガスレーザ装置において、レーザガス交換後の新鮮なレーザガス中に使用済みのレーザガスを所定量残存させるガス残存手段、あるいは、新鮮なレーザガスに所定量の不純物ガスを添加する不純物ガス添加手段を備えている。交換後の使用済みのレーザガスの濃度は、レーザガス中の1.5〜60%の範囲内が好ましい。上記ガス残存手段は、所定量の使用済みのレーザガスが残存するようにガス排気を制御するガス排気制御機構10、あるいは、貯蔵した使用済みのレーザガスを所定量注入するレーザガス貯蔵容器21でもよい。上記不純物ガス添加手段は、所定濃度の不純物ガスが添加されたレーザガスのレーザガスボンベを備えても、又は不純物ガス容器44と、不純物ガスの注入を開閉するバルブ38と、バルブ38の開閉を制御する制御器11とを備えてもよい。
Claim (excerpt)：
レーザ光を所定パルス数以上発振し、レーザ出力パワーが制御不可になった使用済みのレーザチャンバ(1) 内のレーザガスを新鮮なレーザガスに交換するガスレーザ装置において、レーザガスの交換時、交換後の新鮮なレーザガス中に上記使用済みのレーザガスの一部を残存させるガス残存手段を備えたことを特徴とするガスレーザ装置。
IPC (2)：
FI (2)：
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