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J-GLOBAL ID：200903097258052136

静電チヤツク

Inventor： 梅本 鍠一 ,  牛越 隆介 ,  新居 裕介
Applicant, Patent owner： 日本碍子株式会社
Agent (1)： 杉村 暁秀 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991301834
Publication number (International publication number)：1993008140
Application date： Nov. 18, 1991
Publication date： Jan. 19, 1993
Summary：

【要約】【目的】 熱CVD装置等のような、高温、中高真空の条件下でも好適に使用でき、ウエハーの加熱処理時にウエハーの反りや歪みを防止してウエハー全面を均熱化することである。【構成】 膜状電極1が円盤状セラミックス基体4の主面4aに形成されている。この膜状電極1を覆うように、円盤状セラミックス基体4上に窒化珪素等からなる絶縁性誘電層2が形成され、一体化されている。これにより、膜状電極1はセラミックス基体4と絶縁性誘電層2との間に内蔵される。セラミックス基体4の内部には電極端子5が埋設され、この電極端子5の一端には膜状電極1が接続され、電極端子5の他端には電極ケーブル6が接続される。この電極ケーブル6は直流電源8の正極に接続され、直流電源8の負極がアース線7に接続される。絶縁性誘電層2は、気孔率3%以下、最大気孔の気孔径5μm以下のセラミックスからなる。

Claim (excerpt)：

電極の一主面を絶縁性誘電層で被覆して構成され、該絶縁性誘電層上に被吸着物を静電的に吸着する静電チャックにおいて、前記絶縁性誘電層が気孔率3%以下、最大気孔の気孔径5μm以下のセラミックスからなることを特徴とする静電チャック。

IPC (4)：

B23Q 3/15 ,  B25J 15/06 ,  B65H 5/00 ,  H01L 21/68