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J-GLOBAL ID：200903097265903885
異物検出方法及び装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
薄田 利幸 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991286147
Publication number (International publication number)：1993129397
Application date： Oct. 31, 1991
Publication date： May. 25, 1993
Summary：
【要約】【目的】パターン付試料上に斜め上方からレーザ又は白色光を照明し、上方から隣接する2つのパターンの画像を検出し、両者の差画像に多段しきい値を設けることにより、試料上の低段差パターン上と、高段差パターン上との検出異物寸法を変化させ、高精度の異物検出を可能とする異物検出方法及びその装置を実現することにある。【構成】LSIパターンが多数個形成されたウェハ試料1上に、レーザ8を斜方照明し、回折光を対物レンズ9で集光して、撮像素子11で検出し、現チップ像を22に、隣接チップ像を21にストアし、両者の差画像を23にストアする。検出した画像信号をしきい値l1とl2とで2値化し、更に膨張、論理積(AND)をとり、32、33で係数を掛けて35で加算して、3段のしきい値k0、k1、k2を有するしきい値信号を作り36にストアする。37で、差画像信号と3段しきい値信号の差をとり、2値化し、試料上の異物4を検出する。
Claim (excerpt)：
複数個の同一パターンが形成された試料上を斜め上方からレーザ又は白色光で照明し、試料上の隣接又は接近した2つのパターンの原画像を検出し、その差画像の信号を基にして、試料上の異物を検出する方法であって、前記2つのパターンの原画像に1個以上のしきい値をかけて2値化し、ここで得た2つの2値化画像の論理積又は論理和をとって1つの2値化画像を作り、これに一定の定数を掛けたものを多段しきい値信号として作り、これを上記差画像信号のしきい値にすることにより、原画像の信号が大の時には差画像信号のしきい値を大にし、原画像信号が小の時には差画像信号のしきい値を小にして成る異物検出方法。
IPC (3)：
H01L 21/66
, G01N 21/88
, G06K 9/62
