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J-GLOBAL ID：200903097308955060

二次元アブソリュートエンコーダおよび二次元位置測定装置並びに二次元位置測定方法

Inventor： 下河辺 明
Applicant, Patent owner： ジャパン・イー・エム株式会社
Agent (1)： 谷 義一 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998052161
Publication number (International publication number)：1999248489
Application date： Mar. 04, 1998
Publication date： Sep. 17, 1999
Summary：

【要約】【課題】 大測定範囲を絶対座標で表現できる二次元アブソリュートエンコーダとそれを用いた二次元位置測定装置を提供する。【解決手段】 スケール303は絶対座標上の位置情報を表現するマーク301を格子状に配置し、このマークを検出することでスケール上の測定対象物の二次元位置をアブソリュート式に測定可能とする。矩形状のマークの内部を格子状に複数に分割し、マーク内の1個1個の分割された範囲を1ビットとする複数桁の2進を表現するように設定される。マークが形成された二次元平面を複数個のブロック503に分割し、各ブロックの絶対座標上の位置情報を表すブロックマークと、各ブロック内のx座標の位置情報を表すx座標マークと、各ブロック内のy座標の位置情報を表すy座標マークを設定し、これら3種類のマークを所定の規則性に従ってスケール上に配置する。3種類のマークの情報から1つのマークの絶対座標が求められる。

Claim (excerpt)：

二次元平面上に絶対座標上の位置情報をそれぞれ表現する複数のマークを等間隔の格子状に配置し、該マークを検出することで測定対象物の二次元位置をアブソリュート式に測定可能とすることを特徴とする二次元アブソリュートエンコーダ。

IPC (3)：

G01D 5/30 ,  G01B 11/00 ,  G01B 21/00

FI (3)：

G01D 5/30 T ,  G01B 11/00 H ,  G01B 21/00 D