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J-GLOBAL ID：200903097348086951
光スキャナとその駆動方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴木 章夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997205707
Publication number (International publication number)：1999052278
Application date： Jul. 31, 1997
Publication date： Feb. 26, 1999
Summary：
【要約】【課題】 低電圧で駆動でき、しかも偏向角度が大きく、かつ小型化を可能にした光スキャナを提供する。【解決手段】 支持基板1にトーションバー3a,3bで支持されて支持基板1の平面方向と垂直な方向に揺動可能とされたミラー2と、このミラーの両側位置において前記支持基板1に支持された固定電極7a,7bとを備え、これら固定電極7a,7bとミラー2に設けられた電極部5との間に電圧を印加し、両者間に生じる静電引力によってミラー2を揺動させる構成の光スキャナにおいて、前記固定電極7a,7bとミラー2は、ミラーの揺動方向には重ならない平面形状に形成される。固定電極7a,7bとミラー電極部5との間隔を小さくしても相互干渉が防止できるため、低電圧でしかも偏向角度の大きな、かつ小型の光スキャナが得られる。
Claim (excerpt)：
支持基板にトーションバーで支持されて、前記支持基板の平面方向と垂直な方向に揺動可能とされたミラーと、前記トーションバーを挟むミラーの両側位置において前記支持基板に支持された固定電極とを備え、前記固定電極と前記ミラーに設けられた電極部との間に電圧を印加し、両者間に生じる静電引力によって前記ミラーを揺動させる構成の光スキャナにおいて、前記固定電極とミラーとは、前記ミラーの揺動方向には重ならない平面形状に形成されていることを特徴とする光スキャナ。
IPC (2)：
G02B 26/10 104
, H04N 1/113
G02B 26/10 104 Z
, H04N 1/04 104 Z
