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J-GLOBAL ID：200903097356323016

非導電性粉末試料の走査電子顕微鏡観察用試料前処理方法

Inventor： 下村 順一 ,  菊池 朝夫
Applicant, Patent owner： 川崎製鉄株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991252827
Publication number (International publication number)：1993060666
Application date： Sep. 05, 1991
Publication date： Mar. 12, 1993
Summary：

【要約】【目的】 非導電性粉末試料を走査電子顕微鏡で観察する際の試料前処理方法を提供する。【構成】 金属製の試料ステージの表面に所定の粗さを付与し、この試料ステージ表面に粉末試料を懸濁させた溶媒を塗布あるいは滴下した後乾燥することにより、均一かつ薄く付着させることが可能となり、これによりチャージアップを防止し高倍率でかつ精度のよい走査電子顕微鏡観察を行うことができる。

Claim (excerpt)：

非導電性粉末試料を走査電子顕微鏡で観察するにあたり、金属製の試料ステージの表面に所定の粗さを付与し、この試料ステージ表面に粉末試料を懸濁させた溶媒を塗布あるいは滴下した後乾燥することを特徴とする非導電性粉末試料の走査電子顕微鏡観察用試料前処理方法。