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J-GLOBAL ID：200903097417048501

全反射ホログラムを用いた露光装置

Inventor： 後藤 明弘 ,  玄間 隆志 ,  市原 裕 ,  馬込 伸貴 ,  白数 廣 ,  松浦 敏男 ,  海老 正美
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 佐藤 正年 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992250493
Publication number (International publication number)：1994077117
Application date： Aug. 27, 1992
Publication date： Mar. 18, 1994
Summary：

【要約】【目的】 構成が簡単で装置の小型化も実現でき、かつ、微小パターンを高精度に転写することが可能な全反射ホログラムを用いた露光装置を提供する。【構成】 物体光照射光学系、参照光照射光学系は鉛直同一面内に配置され、光源からの光束は、偏光ビームスプリッター14により鉛直面内で分離される。一方の光束は、1/2波長板15、シャッター17を経てエキスパンダー5で平行光束に変換されてマスク4に照射される。マスク4の透過光が物体光束としてホログラム記録媒体3に入射する。他方の参照光束は1/2波長板16、ミラー9、シャッター18を経てエキスパンダー6で平行光束に変換され、プリズム1に垂直入射し、インデックスマッチング液2、ホログラム記録媒体3を通り、記録媒体3の上面内側で全反射される。参照光照射光学系は再生光照射光学系と兼用であり、遮光板7の移動によって参照光束と再生光束とが切り換えられる。

Claim (excerpt)：

ホログラム像を記録するためのホログラム記録媒体を支持するプリズムと、所望のパターンが設けられたマスクと前記ホログラム記録媒体とを所定の間隔に保持する保持手段と、コヒーレント光束を発生するコヒーレント光源と、該光源からのコヒーレント光束を鉛直面内で2光束に分離する分離手段と、該分離手段で分離された一方の光束を前記鉛直面内で前記マスクに導き、ホログラム形成のための物体光束を前記ホログラム記録媒体に照射する物体光照射手段と、前記分離手段で分離された他方の光束を前記鉛直面内で前記プリズムを介して前記ホログラム記録媒体へ導き、ホログラム形成のための参照光束を前記ホログラム記録媒体の内面にて全反射するように照射する参照光照射手段と、前記ホログラム記録媒体に前記参照光束と共役な再生光束を照射して前記マスクの位置にホログラム像を再生する再生光照射光学系とを備えたことを特徴とする全反射ホログラムを用いた露光装置。

IPC (5)：

H01L 21/027 ,  G02B 5/32 ,  G02B 27/28 ,  G03F 7/20 521 ,  G03H 1/04