Pat

J-GLOBAL ID：200903097450923361

ステージ装置

Inventor： 鈴木 繁
Applicant, Patent owner： ウシオ電機株式会社
Agent (1)： 長澤 俊一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994169187
Publication number (International publication number)：1996025163
Application date： Jul. 21, 1994
Publication date： Jan. 30, 1996
Summary：

【要約】【目的】 ステージの位置、回転量を簡単に制御できるようにするとともに、ステージが熱伸縮した際の制御精度の低下を防止すること。【構成】 ベース15上にステージ16が移動可能かつ回転可能に支持されている。ステージ16にはローラ41c,42c,43cが設けられたローラ保持部材41,42,43が取り付けられており、ローラ41c,42c,43cは各軸の駆動機素21,22,23により駆動される駆動ガイド21d,22d,23dに接している。ステージ16をX軸方向もしくはY軸方向に移動させる場合には、駆動機素21,22もしくは駆動機素23によりローラ41c,42cもしくはローラ43cを移動させる。また、ステージ16を回転させる場合には、駆動機素21,22,23によりローラ41c,42c,43cをステージ16を回転させる方向に等しい距離移動させる。

Claim (excerpt)：

少なくとも3つの駆動機素を備え、該駆動機素により基準軸に対して垂直な平面内でステージを2方向に直線移動させると共に、上記基準軸を中心に回転させるステージ装置において、上記基準軸を含む第1の平面上に、ステージの第1および第2の被駆動機素を設け、基準軸を含み第1の平面に交わる第2の平面上に、ステージの第3の被駆動機素を設け、また、上記第1および第2の平面と平行な方向に移動可能に上記3つの被駆動機素と係合する駆動ガイドを設け、上記駆動機素が上記駆動ガイドにより被駆動機素を第1、第2の平面と直交する方向に移動させることにより、ステージを回転/移動させることを特徴とするステージ装置。

IPC (5)：

B23Q 1/25 ,  B23Q 5/22 ,  G01N 21/88 ,  G03F 9/00 ,  G12B 5/00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平3-056895
  
• 特開平2-139146
  
• 特開昭64-071640
  
• 特開昭62-282294