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J-GLOBAL ID：200903097471876169

電気抵抗膜

Inventor： 坂井 裕之 ,  折田 政寛 ,  竹内 恵
Applicant, Patent owner： ホーヤ株式会社
Agent (1)： 塩澤 寿夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995135250
Publication number (International publication number)：1996330103
Application date： Jun. 01, 1995
Publication date： Dec. 13, 1996
Summary：

【要約】【目的】 透明性と導電性に優れた、防曇膜や電波受信・発信膜に適した電気抵抗膜の提供。【構成】 一般式M(1)x M(2)y Inz O(x+3y/2+3z/2)-d (式中、M(1)はMg及びZnのうちの少なくとも1つの元素であり、M(2)はAl及びGaのうちの少なくとも1つの元素であり、比率(x:y)が0.2〜1.8:1の範囲であり、比率(z:y)が0.4〜1.4:1の範囲であり、かつ酸素欠損量dが(x+3y/2+3z/2) の3×10-5〜1×10-1倍の範囲である)で表される電気抵抗膜。前記一般式(但し、dの下限は0)で表され、かつM(1)、M(2)及びInのうちの少なくとも1種の元素の一部が、他の元素で置換されており、M(1)と置換される元素は原子価が2価以上であり、M(2)及びInと置換される元素は原子価が3価以上である電気抵抗膜。前記一般式(但し、dの下限は0)で表される酸化物に、陽イオンを注入したものである電気抵抗膜。

Claim (excerpt)：

一般式M(1)x M(2)y Inz O(x+3y/2+3z/2)-d (式中、M(1)はマグネシウム及び亜鉛のうちの少なくとも1つの元素であり、M(2)はアルミニウム及びガリウムのうちの少なくとも1つの元素であり、比率(x:y)が0.2〜1.8:1の範囲であり、比率(z:y)が0.4〜1.4:1の範囲であり、かつ酸素欠損量dが(x+3y/2+3z/2) の3×10-5〜1×10-1倍の範囲である)で表される導電性酸化物からなることを特徴とする電気抵抗膜。

IPC (2)：

H01C 7/00 ,  C01G 15/00

FI (3)：

H01C 7/00 C ,  C01G 15/00 B ,  C01G 15/00 D