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J-GLOBAL ID：200903097484568455

ZnO-SnO2 系透明導電性膜

Inventor： 高塚 裕二
Applicant, Patent owner： 住友金属鉱山株式会社
Agent (1)： 田中 増顕
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995209247
Publication number (International publication number)：1997035535
Application date： Jul. 25, 1995
Publication date： Feb. 07, 1997
Summary：

【要約】【課題】 抵抗の低いZnO-SnO2 系透明導電性膜を提供する。【解決手段】 ZnO-SnO2 系透明導電性膜において、Sn/Znを0.6から0.75にする。また、添加物として、Al、Ga、In等の3族元素を0.1atm%以上5atm%以下含有させてもよい。

Claim (excerpt)：

ZnO-SnO2 系透明導電性膜において、Sn/Znが0.6から0.75であることを特徴とするZnO-SnO2 系透明導電性膜。

IPC (4)：

H01B 5/14 ,  C01G 19/00 ,  C23C 14/08 ,  G02F 1/1343

FI (5)：

H01B 5/14 A ,  C01G 19/00 A ,  C23C 14/08 C ,  C23C 14/08 D ,  G02F 1/1343