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J-GLOBAL ID：200903097488530029
膜厚及び誘電率の測定装置及びその測定方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
岡本 啓三
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994006494
Publication number (International publication number)：1995208937
Application date： Jan. 25, 1994
Publication date： Aug. 11, 1995
Summary：
【要約】【目的】本発明は、単色光を薄膜に照射し、反射光の反射率をもとに薄膜の膜厚及び誘電率を測定する装置に関し、プローブ光の波長のオーダ以下の膜厚測定に適用でき、かつ膜厚測定と同時に誘電率を測定する。【構成】光源1と、光源1から出射した光を被測定膜に対してP偏光に直線偏光させる偏光手段2と、被測定膜の表面への光の入射角度を変化させる入射角度制御手段3と、所定の入射角度で被測定膜の表面の方に進む光の光路上に介在し、被測定膜の表面上に媒質5を介して配置されるプリズム4と、被測定膜からの反射光を検出する光検出器7と、反射光をもとに反射率を導出し、かつ入射角度に対する反射率の対応関係をもとに被測定膜の膜厚及び誘電率を導出する解析手段8とを含む。
Claim (excerpt)：
光源と、前記光源から出射した光を被測定膜に対してP偏光に直線偏光させる偏光手段と、前記被測定膜の表面への前記光の入射角度を変化させる入射角度制御手段と、所定の前記入射角度で前記被測定膜の表面に入射する前記光の光路上に介在し、前記被測定膜の表面上に媒質を介して配置されるプリズムと、前記被測定膜からの反射光を検出する光検出器と、前記反射光をもとに反射率を導出し、かつ前記入射角度に対する前記反射率の対応関係をもとに前記被測定膜の膜厚及び誘電率を導出する解析手段とを有する膜厚及び誘電率の測定装置。
IPC (2)：
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