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J-GLOBAL ID：200903097512311678

マイクロミラースキャナ及びこれを用いたレーザ光走査装置

Inventor：
山口 和彦

About 山口 和彦


Applicant, Patent owner：
住友精密工業株式会社

About 住友精密工業株式会社


Agent (3)： 大中 実 ,  大内 信雄 ,  鈴木 活人
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005031907
Publication number (International publication number)：2006220745
Application date： Feb. 08, 2005
Publication date： Aug. 24, 2006
Summary：
【課題】 温度が変化しても常に一定の振れ角でマイクロミラーを揺動させることが可能なマイクロミラースキャナを提供する。【解決手段】 本発明に係るマイクロスキャナ10は、揺動可能に支持されたマイクロミラー及びこれを静電力を利用して揺動駆動するための電極を具備するマイクロミラーデバイス1と、前記電極間に交流電圧を印加する交流電源2と、マイクロミラーに向けて照射したレーザ光Lの反射光L’がマイクロミラーの揺動に応じて走査される所定位置に配設された光検出素子3と、光検出素子によって反射光が検出されたタイミングと予め定めたタイミングとのずれ量を検出し、当該検出したずれ量をマイクロミラーの振れ角変動量に換算し、当該換算した振れ角変動量を補正するように前記交流電圧の電圧値を調整する演算制御装置4とを備えている。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
揺動可能に支持されたマイクロミラーと、当該マイクロミラーを静電力を利用して揺動駆動するための電極間に交流電圧を印加する交流電源とを具備するマイクロミラースキャナであって、 前記マイクロミラーに向けて照射したレーザ光の反射光が前記マイクロミラーの揺動に応じて走査される所定位置に配設された光検出素子と、 前記光検出素子によって前記反射光が検出されたタイミングに基づいて、前記交流電源によって印加される交流電圧の電圧値を調整する演算制御装置とを更に備え、 前記演算制御装置は、前記光検出素子によって前記反射光が検出されたタイミングと予め定めたタイミングとのずれ量を検出し、当該検出したずれ量を前記マイクロミラーの振れ角変動量に換算し、当該換算した振れ角変動量を補正するように前記交流電圧の電圧値を調整することを特徴とするマイクロミラースキャナ。
IPC (3)：
G02B 26/10 ,  B81B 3/00 ,  H04N 1/113
FI (3)：
G02B26/10 104Z ,  B81B3/00 ,  H04N1/04 104Z
F-Term (16)：
2H045AB10 ,  2H045AB24 ,  2H045AB43 ,  2H045AB44 ,  2H045AB62 ,  2H045AB73 ,  2H045DA41 ,  5C072AA03 ,  5C072BA12 ,  5C072HA02 ,  5C072HA08 ,  5C072HA14 ,  5C072HB08 ,  5C072HB11 ,  5C072UA13 ,  5C072XA05
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2)

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