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J-GLOBAL ID：200903097534188349

マイクロミラー装置およびその製造方法

Inventor： 澤田 廉士 ,  日暮 栄治 ,  丸野 透
Applicant, Patent owner： 日本電信電話株式会社
Agent (1)： 志賀 正武 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001313006
Publication number (International publication number)：2003057575
Application date： Oct. 10, 2001
Publication date： Feb. 26, 2003
Summary：

【要約】【課題】 低い電圧でミラーを大きく傾動させることができるマイクロミラー装置を提供する。【解決手段】 本発明のマイクロミラー装置は、ミラー33と、ミラー33を上部基板27に対して傾動可能に支持する複数のトーションスプリング35、36と、ミラー33の下面と対向して配置された下部基板21と、下部基板21の上面に設けられた凸部34と、凸部34の外面に形成された複数の下部電極22、23を有する。トーションスプリング36は、その長手方向に対して垂直な断面における高さ/幅のアスペクト比が1.8以上である。

Claim (excerpt)：

マイクロミラー装置であって、ミラー;前記ミラーを上部基板に対して傾動可能に支持する複数のトーションスプリング;前記ミラーの下面と対向して配置された下部基板;前記下部基板の上面に前記ミラーの中央部と対向して設けられた凸部;および前記凸部の外面に形成された複数の下部電極を具備することを特徴とするマイクロミラー装置。

IPC (4)：

G02B 26/08 ,  B81B 3/00 ,  B81B 7/00 ,  G02B 26/10 104

FI (4)：

G02B 26/08 E ,  B81B 3/00 ,  B81B 7/00 ,  G02B 26/10 104 Z

F-Term (9)：

2H041AA12 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ08 ,  2H045AB02 ,  2H045AB06 ,  2H045AB13 ,  2H045AB73

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• マルチプル1×N光スイッチ構成
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願2001-542251   Applicant：エクスロスインコーポレイテッドノーテルネットワークス
• 光走査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-237430   Applicant：株式会社リコー

Cited by examiner (2)

• マルチプル1×N光スイッチ構成
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願2001-542251   Applicant：エクスロスインコーポレイテッドノーテルネットワークス
• 光走査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-237430   Applicant：株式会社リコー