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J-GLOBAL ID：200903097534263189

ガス供給ノズル及びラジカル反応式精密加工装置

Inventor： 長岡 仁 ,  津野 和裕
Applicant, Patent owner： 株式会社新潟鉄工所
Agent (1)： 志賀 正武 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996140536
Publication number (International publication number)：1997323221
Application date： Jun. 03, 1996
Publication date： Dec. 16, 1997
Summary：

【要約】【課題】 ガスを噴出スリットからその全長にわたって均一に噴出させる。【解決手段】 ガス入口3aから噴出側ガス溜りFに送り込まれた反応ガスは、仕切板6の分散スリットBsにより隔壁板5の長さ方向に分散されて噴出スリットFsに流れるので、噴出スリットFsからその全長にわたって均等に噴出されるようになる。吸引スリットKsは、ラジカル反応により生成された反応生成物を吸引するので、反応生成物等によってラジカル反応が阻害されることがなく、したがって迅速に加工することができる。ガス供給ノズルを冷却する必要がある場合は、隔壁板5の通路5cに水等の冷却媒体を流す。

Claim (excerpt)：

ガス入口から送り込まれたガスを噴出スリットから外部に噴出させるガス供給ノズルにおいて、上記ガス入口と噴出スリットとの間に噴出側ガス溜りが設けられ、該噴出側ガス溜りには、ガス入口から送り込まれたガスを上記噴出スリットの長さ方向に分散して噴出スリット側に流す分散スリットが仕切板によって形成されたことを特徴とするガス供給ノズル。

IPC (2)：

B23H 7/02 ,  H01L 21/3065

FI (2)：

B23H 7/02 Z ,  H01L 21/302 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 給液ノズル
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-243475   Applicant：新日本製鐵株式会社, 日鐵プラント設計株式会社
• 除塵装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-234083   Applicant：株式会社伸興
• 特開昭63-120025