多層光学素子

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：安形雄三 (外2名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2000572698
Publication number (International publication number)：2002525698
Application date： Sep. 23, 1999
Publication date： Aug. 13, 2002
Summary：

【要約】正反対の応力を有する2つの異なる物質の組で構成される多層システムを含む応力の無い多層システムであって、それぞれのシステムは目的の波長において良い反射率を提供する。前記多層システムによる主要な効果は、どのような付加的な層を付着させる場合においても応力の補正が要求されないことであり、これによって先行の緩衝層手段と比較してフィルム全体の厚さが減少する。もし前記目的の波長において上述の2つのシステムの光学的な性能が異なる場合には、より劣った性能のシステムを最初に付着させた後に、より優れた性能のシステムを最後に付着させることによって多層システムの上部を形成する。超紫外線(EUV)平版に現在用いられる波長である約13.4nmの波長において基板上の応力の無い多層は、Mo/Be多層を積層の下部に、さらにMo/Si多層を積層の上部に配置し、移行部位は正確にゼロの応力を得られるように選択される。この多層システムにおいて、前記移行部位は積層全体の厚さの約2分の1であって、さらにMo/Be-Mo/Siシステムにおいては、それは約25付着周期のMo/Be及び約20付着周期のMo/Siとなる場合がある。

Claim (excerpt)：

多層反射光学素子であって、基板と、前記基板上に付着される第1の構造の多層システムと、付着された前記第1の多層システム上に付着される第2の構造の多層システムとで構成され、前記第1の構造から前記第2の構造への移行部位が多層システム全体の全体の厚さの約2分の1であり、それぞれの前記多層システムは正反対の応力を有し、前記基板上の応力全体が減少又はほぼゼロにされ得ることを特徴とする多層反射光学素子。

IPC (6)：

G02B 5/08 , B32B 7/02 103 , B32B 15/04 , G02B 1/10 , G02B 5/26 , G02B 5/28

FI (7)：

G02B 5/08 A , G02B 5/08 C , B32B 7/02 103 , B32B 15/04 Z , G02B 5/26 , G02B 5/28 , G02B 1/10 Z

F-Term (46)：

2H042DA01 , 2H042DA12 , 2H042DA16 , 2H042DA21 , 2H042DB02 , 2H042DE00 , 2H048FA05 , 2H048FA07 , 2H048FA09 , 2H048FA18 , 2H048FA24 , 2H048GA07 , 2H048GA09 , 2H048GA13 , 2H048GA24 , 2H048GA44 , 2H048GA61 , 2K009BB01 , 2K009BB02 , 2K009CC01 , 2K009CC14 , 2K009EE00 , 4F100AB01B , 4F100AB01C , 4F100AB01D , 4F100AB01E , 4F100AB09C , 4F100AB09E , 4F100AB11C , 4F100AB11E , 4F100AD00 , 4F100AG00 , 4F100AT00A , 4F100BA05 , 4F100BA07 , 4F100BA08 , 4F100BA10D , 4F100BA10E , 4F100BA13 , 4F100EH01 , 4F100EH11 , 4F100GB90 , 4F100JA20 , 4F100JN06 , 4F100JN30 , 4F100YY00

Return to Previous Page