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J-GLOBAL ID：200903097597495187

電子顕微鏡

Inventor： 近藤 行人 ,  松下 光英 ,  大崎 光明
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社
Agent (2)： 井島 藤治 ,  鮫島 信重
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002209445
Publication number (International publication number)：2004055261
Application date： Jul. 18, 2002
Publication date： Feb. 19, 2004
Summary：

【課題】ビームシャワーモードの設定を誰もが最適な条件で簡単に行なうことができ、また、ビームシャワー動作が終了した後には、電子顕微鏡の各パラメータを元の分析や観察のモードに短時間に正確に戻すことができる電子顕微鏡を実現する。【解決手段】コンピュータ44に接続されたメモリー45内のM1領域には、シャワーモードの際に設定すべきパラメータの値が記憶されるように構成されている。また、メモリー45内の別の記憶領域M2領域には、シャワーモードに移る直前のパラメータの値が記憶されるように構成されている。ここで、マウス47によってポインター52をビームシャワーボタンSの位置に移動させ、マウスをクリックする。この動作によって、透過電子顕微鏡はビームシャワーモードとなる。【選択図】 図3

Claim (excerpt)：

一次電子ビームを試料に照射し、試料を透過した電子、あるいは、試料表面から発生する電子などに基づいて試料像を表示する電子顕微鏡において、試料に照射される電子ビームの量を通常の観察時より多くするビームシャワーモードに設定するためのモード切り換え手段を有しており、モード切り換え手段によってビームシャワーモードが選択された場合には、電子ビームの試料への照射系レンズであるコンデンサレンズの励磁強度とコンデンサレンズアパーチャの孔径とをあらかじめ記憶されていた値に自動的に設定可能に構成した電子顕微鏡。

IPC (3)：

H01J37/20 ,  H01J37/26 ,  H01J37/28

FI (3)：

H01J37/20 G ,  H01J37/26 ,  H01J37/28 B

F-Term (7)：

5C001CC01 ,  5C001CC04 ,  5C001DD01 ,  5C033SS01 ,  5C033SS02 ,  5C033UU02 ,  5C033UU03

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• オージェ電子分光装置およびオージェ電子分光分析法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-055229   Applicant：日本電子株式会社
• 特開平4-273434
  
• 特開平1-154448