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J-GLOBAL ID:200903097598350565

微粒子の製造方法及び膜の形成方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 渡邉 一平
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999312504
Publication number (International publication number):2001129389
Application date: Nov. 02, 1999
Publication date: May. 15, 2001
Summary:
【要約】【課題】 金属酸化物微粒子の組成、結晶構造、形状及びサイズを制御することができ、単分散且つ乾燥状態であるナノサイズの金属酸化物微粒子を合成することができる微粒子の製造方法と、組成、結晶構造、形状及びサイズが制御された金属酸化物微粒子の合成と、基板上に均一な金属酸化物層を被膜する工程とを連続して行うことができる膜の形成方法を提供する。【解決手段】 金属塩水溶液、金属アルコキシドアルコール水又はこれらの混合溶液であり、且つ超臨界状態になる液状物を、水熱反応温度まで急速に昇温し、水熱合成反応により金属酸化物微粒子を発生させ、更に超臨界状態に昇温して粒子径を制御した金属酸化物微粒子を含有した超臨界のスラリー状液を、過熱超臨界ノズル20から粉体回収装置70内に噴出させることにより、単分散且つ乾燥状態の金属酸化物微粒子を製造する。
Claim (excerpt):
金属塩水溶液、金属アルコキシドアルコール水又はこれらの混合溶液であり、且つ超臨界状態になる液状物を、水熱反応温度まで急速に昇温し、水熱合成反応により金属酸化物微粒子を発生させ、更に超臨界状態に昇温して粒子径を制御した金属酸化物微粒子を含有した超臨界のスラリー状液を、過熱超臨界ノズルから粉体回収装置内に噴出させることにより、単分散且つ乾燥状態の金属酸化物微粒子を製造することを特徴とする微粒子の製造方法。
IPC (5):
B01J 19/00 ,  B01D 9/02 601 ,  B05B 1/24 ,  B05D 1/02 ,  B05D 7/24 303
FI (5):
B01J 19/00 N ,  B01D 9/02 601 A ,  B05B 1/24 ,  B05D 1/02 Z ,  B05D 7/24 303 B
F-Term (15):
4D075AA01 ,  4D075EC08 ,  4F033AA01 ,  4F033HA01 ,  4G075AA24 ,  4G075AA27 ,  4G075BB02 ,  4G075BB08 ,  4G075BD09 ,  4G075CA02 ,  4G075CA65 ,  4G075CA66 ,  4G075EA06 ,  4G075EB01 ,  4G075EC01
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
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