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J-GLOBAL ID：200903097611786190

液晶表示装置

Inventor： 中谷 紀夫 ,  平田 朋賢
Applicant, Patent owner： 三洋電機株式会社
Agent (1)： 岡田 敬
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994111127
Publication number (International publication number)：1995318975
Application date： May. 25, 1994
Publication date： Dec. 08, 1995
Summary：

【要約】【目的】 陽極酸化AlゲートTFTを用いたアクティブマトリクス型液晶表示装置において、陽極酸化膜の劣化を防止して歩留まりを向上する。【構成】下部ゲートAl配線(12G,12GL)と上部ソース・ドレイン配線(19S,19D,19DL)との重畳部に、ITO膜(18S,18D,18DL)を残存させることにより、ITOエッチャントによる浸漬を防ぎ、陽極酸化膜Al2O3膜の劣化を防止する。これにより配線交差部に絶縁膜欠陥があっても、上下配線のショートには至らない。

Claim (excerpt)：

基板上に複数配置されたゲートラインと、絶縁膜を挟んで前記ゲートラインと交差して配置されたドレインラインと、前記ゲートラインとドレインラインに囲まれた領域に配置されたITOからなる表示電極と、前記ゲートラインとドレインラインの交差部に形成され前記表示電極に接続された薄膜トランジスタとを有する液晶表示装置において、前記ドレインラインとゲートラインとの交差部においてドレインラインの下部には前記表示電極と同一材料からなる第1のITO膜が介在されていることを特徴とする液晶表示装置。

IPC (3)：

G02F 1/136 500 ,  G02F 1/1343 ,  H01L 29/786