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J-GLOBAL ID：200903097644730750

露光照明装置

Inventor： 菅沼 洋 ,  武田 実
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 小池 晃 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995010227
Publication number (International publication number)：1996203806
Application date： Jan. 25, 1995
Publication date： Aug. 09, 1996
Summary：

【要約】【目的】 各種の複雑なパターンに対応させる際に照明光あるいは光学素子の偏光特性を補正して改善することのできる露光照明装置の提供を目的とする。【構成】 レーザ媒質として用いる YAGレーザからのレーザ光を基本波にこのレーザ光の第4高調波を発生させるレーザ光源1と、レーザ光源1から出射されるレーザ光を円偏光に変換する1/4波長板2と、この照明光の可干渉性を除去する干渉除去部3と、照明光の強度分布を均一にする均一化機構4と、均一化機構4からの透過光を集束させるコンデンサレンズ5と、半導体ウエーハ8上に形成するパターンのマスク6と、このマスク6の透過光を半導体ウエーハ8上に集束させる投影縮小型レンズ7と、対物レンズ7から半導体ウエーハ8上へ投影像する面内で半導体ウエーハ8を移動させる可動ステージ9とを有している。

Claim (excerpt)：

光源から加工対象物に記録するパターンを照明して上記加工対象物へパターンを露光記録させる露光照明装置において、上記光源から出射される光を円偏光に変換する偏光変換手段が設けられていることを特徴とする露光照明装置。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  G02F 1/01 ,  G03F 7/20 505