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J-GLOBAL ID：200903097648128494
不揮発性メモリ
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
古谷 栄男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991335416
Publication number (International publication number)：1993167079
Application date： Dec. 19, 1991
Publication date： Jul. 02, 1993
Summary：
【要約】【目的】セル面積を小さくでき、製造が容易で、製造コストを低くすることができる不揮発性メモリを提供することを目的とする。【構成】不揮発性メモリ21は、Pウェル2内に、ドレイン3、ソース4、電荷保持用絶縁膜6で覆われたチャネル形成領域10a、10bを備えている。チャネル形成領域10a、10bの上部にはメモリゲート電極5および、導電性サイドウォール23が設けられている。導電性サイドウォール23は、絶縁膜8によって、メモリゲート電極5と絶縁されている。メモリゲート電極5にはプログラム電圧を、導電性サイドウォール23には反転電圧を印加することによって、チャネル形成領域10a、10bにチャネルが形成される。なお、不揮発性メモリ21の製造工程において、導電性サイドウォール23によってチャネル形成領域10bの幅Wを正確に決定することができる。
Claim (excerpt)：
第1領域、第1領域との間に電路形成可能領域を形成するように設けられた第2領域、電荷を保持するため電路形成可能領域を覆う電荷保持用絶縁膜、電荷保持用絶縁膜上に設けられた制御電極、を備えた不揮発性メモリにおいて、電路形成可能領域を、第1の電路形成可能領域と第2の電路形成可能領域に分け、第1の電路形成可能領域上に、制御用電極を備え、第2の電路形成可能領域上に制御電極の側壁と非接触状態に設けられた導電性側壁を備えたことを特徴とする不揮発性メモリ。
IPC (2)：
H01L 29/788
, H01L 29/792
