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J-GLOBAL ID：200903097651553201

半導体装置およびその製造方法

Inventor： 杉原 剛
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 吉田 茂明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002055545
Publication number (International publication number)：2003258245
Application date： Mar. 01, 2002
Publication date： Sep. 12, 2003
Summary：

【要約】【課題】 ハードマスクを用いて形成したゲート電極の利点を生かしつつ、ハードマスク除去に伴う半導体装置の特性の変化を抑える。【解決手段】 ゲート電極3は、ハードマスクをマスクとして用いたエッチングにより形成され、その後の工程においてはゲート電極3の上面にはハードマスクが残存する。よって、その間にゲート電極3の上面が不要にエッチングされるのを防止できる。そのハードマスクは、ソースドレイン領域形成のためのイオン注入後に除去する。そのため、ハードマスクの除去による半導体装置の特性への影響は抑えられる。またその際、サイドウォール4の表面も厚さdだけエッチングされ、ソースドレイン領域上面の露出幅が広くなる。ハードマスク除去後は、ゲート電極3のサリサイド化や、ゲート電極3に対するコンタクトの形成を容易に行うことができる。

Claim (excerpt)：

(a)半導体基板上に形成されたゲート電極材を、ハードマスクをマスクとしてエッチングすることにより、前記ハードマスクを上面に有するゲート電極を少なくとも1つ以上形成する工程と、(b)前記ハードマスクを上面に有する前記ゲート電極をマスクとして、第1のイオン注入を行う工程と、(c)前記工程(b)よりも後に行われ、所定の前記ゲート電極の前記ハードマスクをエッチングにより除去する工程とを備える、ことを特徴とする半導体装置の製造方法。

IPC (12)：

H01L 29/78 ,  H01L 21/265 604 ,  H01L 21/28 301 ,  H01L 21/8234 ,  H01L 21/8247 ,  H01L 27/088 ,  H01L 27/10 481 ,  H01L 27/115 ,  H01L 29/423 ,  H01L 29/49 ,  H01L 29/788 ,  H01L 29/792

FI (9)：

H01L 21/265 604 G ,  H01L 21/28 301 D ,  H01L 27/10 481 ,  H01L 29/78 301 G ,  H01L 27/08 102 C ,  H01L 29/58 G ,  H01L 27/08 102 D ,  H01L 27/10 434 ,  H01L 29/78 371

F-Term (72)：

4M104BB01 ,  4M104CC05 ,  4M104DD02 ,  4M104DD71 ,  4M104DD78 ,  4M104DD84 ,  4M104EE05 ,  4M104EE09 ,  4M104FF14 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104GG14 ,  4M104GG16 ,  5F048AA07 ,  5F048AB01 ,  5F048AC03 ,  5F048BA01 ,  5F048BB05 ,  5F048BB08 ,  5F048BB12 ,  5F048BC06 ,  5F048BF15 ,  5F048BF16 ,  5F048DA18 ,  5F048DA19 ,  5F048DA25 ,  5F048DA27 ,  5F083EP02 ,  5F083EP23 ,  5F083EP55 ,  5F083EP56 ,  5F083EP77 ,  5F083ER22 ,  5F083JA04 ,  5F083MA01 ,  5F083MA15 ,  5F083PR07 ,  5F083PR28 ,  5F083PR43 ,  5F083PR53 ,  5F083ZA05 ,  5F101BA29 ,  5F101BA36 ,  5F101BB05 ,  5F101BD02 ,  5F101BD33 ,  5F101BD37 ,  5F101BE07 ,  5F101BH13 ,  5F101BH21 ,  5F140AB03 ,  5F140AC32 ,  5F140BA01 ,  5F140BE07 ,  5F140BF04 ,  5F140BF11 ,  5F140BF28 ,  5F140BF34 ,  5F140BF58 ,  5F140BF60 ,  5F140BG12 ,  5F140BG14 ,  5F140BG20 ,  5F140BG22 ,  5F140BG52 ,  5F140BG53 ,  5F140BG54 ,  5F140BH15 ,  5F140BK02 ,  5F140BK13 ,  5F140CB01 ,  5F140CB04