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J-GLOBAL ID：200903097653234707

近接場光学顕微鏡

Inventor： 中野 勝志 ,  打田 忠 ,  大瀧 達朗
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998315220
Publication number (International publication number)：2000146802
Application date： Nov. 06, 1998
Publication date： May. 26, 2000
Summary：

【要約】【課題】 分解能を高め、S/N比を向上させた近接場光学顕微鏡を提供する。また、探針と試料の距離制御を安定させ、近接場光の散乱効率を向上させた近接場光学顕微鏡を提供する。【解決手段】 試料表面に発生する近接場光を探針により散乱し、該散乱光を検出する近接場光学顕微鏡に、照明光学系の開口数が1以上の照明光で前記試料を照明する照明装置とこの照明光を全反射し近接場光を発生させる基板とを設ける。また、既存の倒立顕微鏡と原子間力顕微鏡を合体させ、探針として原子間力顕微鏡の探針を用いる。

Claim (excerpt)：

試料を照明し、試料表面に発生する近接場光を探針により散乱し、該散乱光を検出する近接場光学顕微鏡において、照明光学系の開口数が1以上の照明光で前記試料を照明する照明装置と、前記照明光を全反射し近接場光を発生させる基板と、前記近接場光を散乱する探針と、を備えることを特徴とする近接場光学顕微鏡。

IPC (5)：

G01N 13/14 ,  G01B 11/30 ,  G02B 21/00 ,  G02B 21/18 ,  G02B 21/36

FI (6)：

G01N 37/00 D ,  G01N 37/00 E ,  G01B 11/30 Z ,  G02B 21/00 ,  G02B 21/18 ,  G02B 21/36

F-Term (26)：

2F065AA02 ,  2F065DD03 ,  2F065DD04 ,  2F065GG04 ,  2F065HH02 ,  2F065JJ18 ,  2F065LL00 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065PP24 ,  2H052AA07 ,  2H052AB02 ,  2H052AB24 ,  2H052AC04 ,  2H052AC05 ,  2H052AC14 ,  2H052AC15 ,  2H052AC17 ,  2H052AC27 ,  2H052AC29 ,  2H052AC33 ,  2H052AC34 ,  2H052AD34 ,  2H052AD35 ,  2H052AF11 ,  2H052AF14