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J-GLOBAL ID：200903097670983381

ICチップ位置決め装置

Inventor： 石田 淳一 ,  中村 淳良
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (1)： 梅田 勝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992190648
Publication number (International publication number)：1994037171
Application date： Jul. 17, 1992
Publication date： Feb. 10, 1994
Summary：

【要約】【目的】 ICチップ位置決め装置において、汎用性を高め、精度を向上させる。【構成】 CCDカメラ1に顕微鏡2を接続して高解像度の画像を撮像する撮像手段と、ICチップの位置・角度を測定する演算手段と、ICチップの角を撮像手段の視野内に移動させるX,Yステージ5、及びICチップの角度補正を行うQステージ4といったステージ駆動手段を備える。

Claim (excerpt)：

ICチップ位置決め装置において、顕微鏡を含めた、ICチップ表面を撮像する撮像手段と、照度変更が可能な照明装置と、ICチップを視野にとらえるように移動できるステージ、及び撮像の角度補正を行うステージを有し、そのステージの移動量の計算、及びステージ制御を行う手段と、撮像により得られた画像からICチップの位置を求める画像処理装置を備え、その画像処理装置で、ICチップの外形を求めて、位置及び角度を粗位置決めし、ICチップ上の登録されたパターンを検出する範囲をICチップの粗位置から限定する事により、高速にパターンを検出する事を特徴とするICチップ位置決め装置。

IPC (7)：

H01L 21/68 ,  G06F 15/62 405 ,  G06F 15/64 ,  H01L 21/52 ,  H01L 21/60 301 ,  H01L 21/66 ,  B23Q 17/24